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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

陕西发现柳公权晚年撰书墓志******

　　中新网西安1月12日电 (记者 阿琳娜)记者12日从陕西省文物局举办的新闻发布会获悉，考古人员在唐代严公贶墓出土一方由唐代著名文学家、书法家柳公权撰文并书写的墓志，该墓志是现存唯一经考古发掘、有明确出土地点的柳公权晚年撰书的墓志。

　　据介绍，凤林北路东延伸段项目位于西安市长安区郭杜街道凤林北路与文苑南路交接处东部，居安路以西。为配合该项目建设，陕西省考古研究院共清理发掘3座唐墓。本次发掘最重要的发现是在其中一座墓葬中出土的一方墓志，由柳公权撰文并书写。

　　该墓平面呈“刀把”形，南北向，墓室被盗，葬具及人骨不存，出土塔式罐盖、陶半身俑、陶狗、墓志。墓志长76.7厘米、宽77.1厘米、厚14.5厘米，四周线刻十二生肖，兽首人身，每面三个，墓志正面阴刻正书42行，满行45字，共1769字。

　　根据墓志内容，墓主为唐通议大夫守左散骑常侍严公贶，冯翊人。墓志中对严公贶生平及其家族世系有详细记述。严公贶高祖严丰、曾祖严知本、祖父严审纲，父亲为唐中期名臣严震，兄长为严公弼。严公贶的妻子为河东柳氏，是柳公权“从父女弟”即堂妹，先于严公贶四十七年而逝，有七子一女。严公贶于唐宣宗大中三年(公元849年)病逝，享年七十五岁，大中四年(公元850年)葬。严公贶逝世后，长子严脩穆请其舅柳公权为严公贶撰、书墓志铭，此时柳公权已71岁。

　　专家介绍，目前已知的柳公权所撰写墓志墓主有皇室成员、高官、宦官、僧人、亲属。

　　本次发现的严公贶墓志不仅补充了缺载的严公贶生卒年份、仕宦经历等信息，完善了冯翊严氏家族谱系及其与河东柳氏的姻亲关系，也为研究柳公权书法艺术提供重要实物资料。(完)

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）